UNIVERSITE DE GRENOBLE

    Collège Doctoral
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ANNEE UNIVERSITAIRE 2010/2011

AVIS DE SOUTENANCE DE THESE

Le 02 mars 2011 à 9h00
Soutenance de Mlle Maylis LAVAYSSIERE pour une thèse de DOCTORAT de l’Université de Grenoble, spécialité Micro-Nano Electronique intitulée : Electrical and chemical mapping of silicon pn junctions using energy-filtered X-ray PhotoElectron Emission Microscopy.

Lieu : CEA LETI MINATEC salle B221
3 parvis Louis Néel
38054 F-Grenoble cedex 9

Thèse préparée dans le Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (LETI) du CEA Grenoble (DPTS SCPIO LCPO), sous la direction conjointe de M. Nicholas BARRETT et M. Olivier RENAULT.

RESUME DE THESE
Cette thèse traite de l'étude de jonctions pn silicium planaires avec un microscope à émission de photoélectrons filtré en énergie (XPEEM) afin d'améliorer la compréhension des facteurs influençant le contraste des images XPEEM. Pour les trois types de systèmes réalisées par épitaxie, présentant des champs électriques variables à la jonction, nous avons d'abord mis en oeuvre un procédé de désoxydation/passivation ex situ afin de nous rapprocher des conditions de bandes plates en surface. Ce procédé nous a permis d'étudier la position des niveaux électroniques de part et d'autre des jonctions grâce à une imagerie en XPEEM spectroscopique complète (électrons secondaires, électrons de coeur Si 2p et bande de valence), avec à la fois des sources X de laboratoire et le rayonnement synchrotron. Nous avons mis en évidence le rôle du champ électrique au niveau de la zone de déplétion des jonctions qui décale la position apparente de cette dernière dans l'image XPEEM. Nous avons enfin comparé résultats expérimentaux et théoriques (simulations SIMION) pour estimer l’influence de ce champ électrique sur les conditions d'imagerie PEEM.
MEMBRES DU JURY
J. Cazaux, GRESPI/Matériaux Fonctionnels, Reims
G. Schönhense, Johannes Gutenberg University, Mainz
R. Madar, LMGP PHELMA, Grenoble
J.-C. Joud, SIMAP PHELMA, Grenoble
P. Müller, CINaM-CNRS, Marseille
F. Rochet, Université Paris VI, Paris
N. Barrett, CEA DSM IRAMIS, Saclay
O. Renault, CEA-LETI MINATEC, Grenoble	

	Fait à Grenoble, le 22 Février 2011