Soutenance de Rym Benaboud

Publié le 4 juin 2009

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Soutenance

18 juin 2009 à 14h. Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d’électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés

18 juin 2009 à 14h. Soutenance de Rym Benaboud pour une thèse de doctorat de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité Matériaux, Mécanique, Génie civil et Electrochimie intitulée : « Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d'électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés ».

Lieu : l'amphithéâtre Jean Besson de Phelma

Thèse préparée dans le laboratoire SIMaP, sous la direction conjointe de Mme Elisabeth Blanquet et Christophe Wyon.

Présentation rapide de la thèse

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mise à jour le 4 juin 2009

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