Soutenance de Rym Benaboud
Publié le 4 juin 2009
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Soutenance
18 juin 2009 à 14h. Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d’électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés
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mise à jour le 4 juin 2009