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Grenoble INP Institut d'ingénierie et de management

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Soutenance de Perrine Violet

Publié le 12 septembre 2008
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Soutenance

29 septembre 2008 à 14h. Etudes thermodynamique et expérimentale du dépôt ALD (Atomic Layer Deposition) de TaN et de son précurseur organométallique PDMAT, Ta[N(CH3)2]5, utilisé en microélectronique

29 septembre 2008 à 14h. Soutenance de Perrine Violet pour une thèse de doctorat de l'Institut Polytechnique de Grenoble, spécialité Science et génie des Matériaux  intitulée : Etudes thermodynamique et expérimentale du dépôt ALD (Atomic Layer Deposition) de TaN et de son précurseur organométallique PDMAT, Ta[N(CH3)2]5, utilisé en microélectronique.

Lieu : CUEFA-Amphi Nord, Domaine Universitaire, 701 rue de la Piscine, 38402 St Martin d'hères

Thèse préparée dans le laboratoire Science et Ingénierie des matériaux et Procédés, sous la direction de Mme Elisabeth BLANQUET.

Présentation rapide de la thèse
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mise à jour le 12 septembre 2008

Université Grenoble Alpes