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Inauguration du MEB-FIB ZEISS NVision 40

Publié le 25 mai 2010
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Communiqué

La Fondation Nanosciences a inauguré le 11 mai dernier un nouveau MEB FIB. Implanté sur Minatec, cet équipement d’envergure qui se monte à plus d’1M€ est un ZEISS Cross Beam NVision 40.

Cette manifestation a réuni une centaine de participants. A cette occasion, Roland HERINO, directeur de la Fondation Nanosciences, a tout d'abord rappelé les missions de la Fondation et les nombreuses actions menées notamment en faveur des plateformes technologiques. Dans le cadre du RTRA « Nanosciences aux limites de la nanoélectronique », la Fondation Nanosciences a soutenu ce projet commun d'équipement déposé par la plateforme CMTC de Grenoble INP, la plateforme de Nano Caractérisation du CEA Grenoble (PFNC) et la Plateforme Technologie Amont (PTA).

Inauguration du MEB-FIB ZEISS NVision 40Au nom des trois plateformes partenaires, PFNC, PTA et CMTC, Laurent MANIGUET, directeur du CMTC, a ensuite présenté les grandes lignes de ce projet et a remercié l'ensemble des acteurs et des partenaires qui ont permis sa réalisation.

Eric Gautier, responsable de l'équipement pour la plateforme PFNC, Florence ROBAUT, et Frédéric CHARLOT, coresponsables de l'équipement pour la plateforme CMTC, ont ensuite décrit ses nombreuses fonctionnalités et ont présenté les premiers résultats scientifiques obtenus.

Le MEB-FIB est, au niveau international, un outil incontournable dans les micro et nanotechnologies. Il s'agit d'un microscope électronique à balayage haute résolution, couplé à un faisceau d'ions focalisé (FIB : Focused Ion Beam) et équipé de micro/nano pinces. Il permet la fabrication, la manipulation, l'imagerie et la caractérisation d'objets, préparés de manière contrôlée à l'échelle nanométrique. Il est devenu l'œil, les pinces et la colle du chercheur en nanosciences et nanotechnologies.

MEB-FIB ZEISS NVision 40L'inauguration s'est poursuivie par une présentation de Jean-Claude Ménard, spécialiste applications au sein de la société ZEISS, partenaire de cette manifestation.

La matinée s'est terminée par un exposé de Marco CANTONI, chercheur à l'Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, sur l'apport du MEB FIB à l'imagerie 3D dans des domaines aussi variés que la science des matériaux et les sciences du vivant.

L'après-midi a été consacrée à un workshop sur l'utilisation du MEB-FIB.

Contacts :
florence.robaut@cmtc.grenoble-inp.fr
frederic.charlot@cmtc.grenoble-inp.fr
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mise à jour le 25 mai 2010

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