Aller au menu Aller au contenu
Une excellence accessible à tous

Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
Une excellence accessible à tous
Une excellence accessible à tous

> Formation > Doctorats

Soutenance de Rym Benaboud

Publié le 4 juin 2009
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo
Soutenance

18 juin 2009 à 14h. Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d’électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés

18 juin 2009 à 14h. Soutenance de Rym Benaboud pour une thèse de doctorat de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité Matériaux, Mécanique, Génie civil et Electrochimie intitulée : « Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C,Ti-N-C)  par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d'électrodes de capacités Métal/Isolant/Métal dans les circuits intégrés ».

Lieu : l'amphithéâtre Jean Besson de Phelma

Thèse préparée dans le laboratoire SIMaP, sous la direction conjointe de Mme Elisabeth Blanquet et Christophe Wyon.

Présentation rapide de la thèse
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

mise à jour le 4 juin 2009

Univ. Grenoble Alpes