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Une excellence accessible à tous

Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
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> Formation > Doctorats

Soutenance de Rémi-Xavier Bouyssou

Publié le 12 janvier 2009
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Soutenance

12 janvier à 15h30. Perpétuation de la technique PVD pour les dépôts de barrière de diffusion du cuivre et de couche de germination en cuivre des interconnexions cuivre des technologies CMOS avancées

12 janvier à 15h30. Soutenance de Rémi-Xavier Bouyssou pour pour une thèse de doctorat de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité Matériaux, Mécanique, Génie civil, Electrochimie intitulée : Perpétuation de la technique PVD pour les dépôts de barrière de diffusion du cuivre et de couche de germination en cuivre des interconnexions cuivre des technologies CMOS avancées.

Lieu : Batiment G-INP/Minatec, Salle M254 - 2nd étage à proximité des locaux du LMGP

Thèse préparée dans le laboratoire LMGP , sous la direction conjointe de M Bernard CHENEVIER et M. Philippe NORMANDON.

Présentation rapide de la thèse
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mise à jour le 12 janvier 2009

Univ. Grenoble Alpes