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Une excellence accessible à tous

Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
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> Formation > Doctorats

Soutenance de Mohamed EL KODADI

Publié le 17 novembre 2010
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Soutenance 17 novembre 2010
14h00

17 novembre 2010 à 14h00. Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasmas

18 novembre 2010 à 14h00. Soutenance de M  Mohamed EL KODADI pour une thèse de DOCTORAT de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité  Micro&nanoélectronique  intitulée : Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasmas.

Lieu : Salle 205 Entrée principale CEA 17 rue des martyrs 38054 Grenoble

Thèse préparée dans le laboratoire des technologies de la microélectroniques, sous la direction conjointe de M Patrick schiavone et Maxime Besacier.

Présentation rapide de la thèse
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mise à jour le 17 novembre 2010

Univ. Grenoble Alpes