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Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
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> Formation > Doctorats

Soutenance de Laurène Babaud

Publié le 23 avril 2010
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Soutenance

30 avril 2010 à 14h. Développement et optimisation d’un procédé de gravure grille polysilicium pour les nœuds technologiques 45 et 32 nm

30 avril 2010 à 14h. Soutenance de Laurène Babaud pour une thèse de doctorat de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité  Micro et Nano Electronique (MNE)  intitulée : « Développement et optimisation d'un procédé de gravure grille polysilicium pour les nœuds technologiques  45 et 32 nm ».

Lieu : Amphithéatre du CNRS, Batiment A, 25 rue des Martyrs 38000 GRENOBLE

Thèse préparée dans le laboratoire  des Technologies de la Microélectronique (LTM), sous la direction conjointe de M. Olivier Joubert et  M. Pascal Gouraud .

Présentation rapide de la thèse
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mise à jour le 23 avril 2010

Univ. Grenoble Alpes