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Une excellence accessible à tous

Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
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> Formation > Doctorats

Soutenance de Arnaud Bazin

Publié le 21 septembre 2009
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Soutenance

21 septembre 2009 à 14h. Analyse de procédés de traitement plasma des résines photosensibles à 193 nm pour le développement de technologies CMOS sub-65 nm.

21 septembre 2009 à 14h. Soutenance de Arnaud Bazin pour une thèse de doctorat de l'Institut polytechnique de Grenoble, spécialité Micro et Nano Electronique intitulée : Analyse de procédés de traitement plasma des résines photosensibles à 193 nm pour le développement de technologies CMOS sub-65 nm.

Lieu : CNRS - Bâtiment principal (Amphitéâtre) - 25, rue des Martyrs - 38042 Grenoble
 
Thèse préparée dans le Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM), sous la direction de M. Olivier Joubert.          

Présentation rapide de la thèse
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mise à jour le 21 septembre 2009

Univ. Grenoble Alpes