Aller au menu Aller au contenu
Innover pour un avenir durable

Institut polytechnique de Grenoble

Grenoble Institute of Engineering
Innover pour un avenir durable

> L'Institut > Actualités

Un nouvel AFM à l’IMEP-LaHC

Publié le 17 décembre 2018
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

L’IMEP-LaHC* vient de se doter d’un nouveau microscope à force atomique (AFM) particulièrement puissant. Rappelons que le principe d’un AFM repose sur l'analyse d'un objet point par point au moyen d'un balayage par une sonde assimilable à une pointe effilée d’environ 10 nm de rayon de courbure.

nouvel-afm.jpg

nouvel-afm.jpg

Ce mode d'observation permet de cartographier avec une très grande résolution spatiale la topologie et certaines grandeurs physiques caractéristiques d’échantillons solides de diverses natures (SC, conducteur, isolant) et peu rugueux (<10 µm). Il permet également d’analyser localement les grandeurs physiques et électriques (courbe de force, capacité, courant...).

Installé depuis début octobre, l’AFM de l’IMEP-LaHC va plus loin en proposant deux fonctionnalités originales.
 

D’abord, le mode « Data Cube », qui permet de réaliser simultanément des mesures électriques et physiques point par point sur toute la surface de l’échantillon. « Il est désormais possible de capturer simultanément et rapidement des caractéristiques électriques et mécaniques de l’échantillon, qui peut ainsi être cartographié en termes de courant, de tension, de courbe de force, etc. », explique Xavier Mescot, responsable de la plate-forme de caractérisation électrique et physique de l’IMEP-LaHC.

Seconde nouveauté : le module SMIM**, qui permet d’analyser la réflexion par l’échantillon d’un signal radiofréquence incident à 3 GHz et d’en extraire en une seule mesure – qui plus est, rapide – la capacité et la résistivité locale, avec une résolution spatiale de l’ordre de 50 nm. Le mode SMIM permet également de réaliser des spectres de capacité qui sont pratiquement impossibles à obtenir avec les modes électriques usuels d’un AFM.

Ces options, disponibles sur 2 ou 3 machines seulement en France, vont ouvrir de nouveaux horizons quant à la compréhension des phénomènes physiques locaux dans les objets micro et nanométriques tels que les films minces, les nanofils ou les matériaux bidimensionnels. Le nouvel AFM sera accessible à des équipes extérieures dans le cadre de la plateforme OPE)N(RA de la FMNT.





*Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
**Scanning Microwave Impedance Microscopy




A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Rédigé par Alizee Letellier

mise à jour le 18 décembre 2018

Grenoble INP Institut d'ingénierie Univ. Grenoble Alpes